ceratech帶加熱功能的靜電吸盤介紹

發布日期：2024-08-13      瀏覽次數：21

ceratech帶加熱功能的靜電吸盤介紹

通過將金屬電極放置在陶瓷內部并將它們燒結在一起，可以制造靜電吸盤和陶瓷加熱器。
我們擁有一系列靜電吸盤/陶瓷加熱器，可充分利用各種材料技術來滿足用戶需求。我們根據等離子體環境領域和電子束使用領域等應用提供從開發到原型設計階段的產品。






特點/應用

(1) 帶加熱器靜電吸盤(ESC/加熱器)

　[材質：AlN（氮化鋁）]

• 通過控制AlN的體積電阻率，可以獲得較寬的溫度范圍和足夠的吸附能力。

• 通過高度靈活的加熱器設計可以實現出色的溫度均勻性。

• 由于 AlN 和電極燒結在一起，因此電極不會隨著時間的推移而劣化。

• 還提供采用粘合技術的陶瓷空心結構。








(2)靜電吸盤(ESC)

　[材質：Al 2 O 3 (氧化鋁)]

• ?采用層壓技術，可實現高的面內溫度均勻性。

• ?通過使用高純度氧化鋁，可以減少金屬污染。

• ?在鹵素氣體等離子環境下具有優異的耐久性。







　[材質：熱噴涂Al 2 O 3 ]

• 使用我們的氧化鋁噴涂技術可以形成致密的絕緣層。

• 與氧化鋁板型相比，其制造成本更低。

• 它比更便宜的薄膜類型具有更高的耐用性。



(3)陶瓷加熱器

　[材質：AlN（氮化鋁）]

• 通過使用高導熱率的AlN，可以實現優異的溫度均勻性（±0.3%）。

• 我們擁有IR相機、TC晶圓等特色檢測環境。




技術介紹

◆12英寸卡盤平面度精度

　平整度0.2μm以下

◆形狀控制

　根據晶圓形狀形成卡盤形狀（凹凸控制）。